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在微细加工技术领域,罗先刚院士提出并实验验证了sp超分辨成像光刻的原理和方法,建立了sp超衍射材料的数理模型,完成缩小倍率sp成像器件光刻实验验证,在365nm波长下获得40nm线宽光刻结果。
针对sp光刻焦深浅、对比度低的问题,罗先刚院士建立了高深宽比sp光刻辅助工艺,获得深宽比3:1、陡直度80°的结果。
该成果被国际权威文章认可,为替代传统光刻提供了可行途径。
在亚波长电磁学领域,罗先刚院士深入研究了电磁波行为特性,揭示其规律。
他提出调控电磁波位相的思路,给出亚波长结构电磁功能器件的设计原理和方法。
罗先刚院士设计出一系列高性能的亚波长结构电磁器件,如方向系数高达1020的亚波长结构天线,并在低温范围内取得重要研究成果,为相关领域发展提供了理论和技术支持。
在微纳光学领域,罗先刚院士结合光子学与纳米技术,在数字光学、结构功能材料及器件、仿生光子器件及系统等方面开展研究,实现了许多全新的功能。
最后,罗先刚院士的微纳光学研究成果为光通信、光互联等多个新型光电子产业领域提供了重要的技术支持和理论基础,促进了这些领域的发展。
科研之路解码
罗先刚院士的研究成果,在多个方面对他当选院士产生了重要影响。