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该系统包括高精度注射泵控制液态丙酮的输送、二元前驱体与载气的预混合和汽化、气相传输管线的加热措施和监测单元等,解决了液体丙酮供应难以精确控制的问题。
刘忠范院士团队发现聚丙烯腈(PAN)可以作为聚合物介质来转移晶圆尺寸的石墨烯,并作为封装层来提供高性能石墨烯器件。
与传统转移方法中使用的聚合物需要去除不同,PAN在后续应用中不需要去除,避免了去除过程中对石墨烯表面的污染。
刘忠范院士团队实现了4英寸石墨烯到SiO?/Si晶圆上的无裂纹转移,转移后的石墨烯完整性高,平均完整性超过99.0%。
2020年,刘忠范院士团队实现了石墨烯晶圆的量产。
检测结果表明,新制备的石墨烯晶圆良品率超过95%,为新一代高性能电子与光电子芯片奠定了坚实的材料基础。
刘忠范院士团队突破了石墨烯从铜基底往金刚石、硅基等不同基底上的无损转移,这对于拓展石墨烯的应用领域具有重要意义。
科研之路解码
刘忠范院士的科研之路,对其成为院士有着重大影响。