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更先进的DUV光刻机NXT:2000i,都买不到,更别说NXT:2050i。

NXT 1980Di原本用于制造300nm-38nm制程,二重曝光后可以达到19nm制程。

中芯国际,华力等企业,都是用NXT 1980Di二重曝光,量产28-19nm的芯片。

同样,要用 NXT:1980Di来制造14nm、7nm的芯片,那就得靠多重曝光技术,对厂家的技术要求非常高,量产芯片的成本也很高。

最初,台积电用NXT:1980Di来制造7nm芯片,效果很不理想,良品率低,成本高,最后还是换上EUV光刻机,才实现了完美的7nm。

但中芯国际买不到EUV光刻机,只能硬着头皮用NXT 1980Di进行三重曝光,四重曝光,甚至五重曝光。

幸好梁老能力突出,在多重曝光领域造诣颇深,硬是推出N+1、N+2工艺,用NXT 1980Di这种落后的光刻机,实现了14nm、10nm,甚至7nm。

梁老的两重曝光技术,不但把中芯国际的28nm良品率从50%提到了90%以上,成本也不会增加太多。

使得中芯国际的28nm工艺大规模量产,能满足大多数芯片需求。

14nm需要三重曝光,凭借梁老的技术,良品率和成本也能保证。

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